"Росэлектроника" разработала технологию производства монокристаллов карбида кремнияВпервые российским предприятием ОАО Светлана» (входит в холдинг Росэлектроника» Госкорпорации Ростех) разработана промышленная технология производства монокристаллов и подложек полуизолирующих карбида кремния для создания сверхвысокочастотной электронной компонентной базы. Качество подложек не уступает лучшим зарубежным аналогам.
Данные подложки могут быть использованы и для создания пленок графена, которые считаются наиболее перспективным материалом в качестве основы компонентной базы будущей микроэлектроники и возможной заменой кремния в ИМС. Сравнение параметров разработанных подложек с параметрами американских аналогов показывает, что продукция ОАО Светлана» находится на мировом уровне, например, американского аналога Grade M (для военных применений) и существенно превышают параметры Grade R&D (для исследовательских целей).
Объем финансирования разработок составил 285 млн руб., в том числе 190 млн руб. из федерального бюджета и 95 млн. руб. из собственных средств.
В настоящее время ОАО Светлана» готово начать поставки подложек полуизолирующих карбида кремния политипа 6Н диаметром 3 дюйма для российских потребителей, при этом цены подложек существенно ниже, чем у других производителей. Основными потребителями разработанных подложек будут предприятия и организации-производители гетероструктур: ЗАО Светлана-Рост», ЗАО Элма-Малахит», ФТИ им. А.Ф. Иоффе РАН, Сибирское отделение РАН и др.
Источник: http://www.ruselectronics.ru |